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日立AeroSurf 1500臺(tái)式大氣壓掃描電子顯微鏡

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1.含水樣品也無需前處理即可在大氣壓下進(jìn)行SEM觀察
2.從低真空到大氣壓（數(shù) Pa～105 Pa），可在大范圍壓力下進(jìn)行SEM觀察
3.標(biāo)準(zhǔn)搭載ES-Corrector（電子束散射校正）圖像改善功能
4.在真空模式下，除了通常的SEM觀察之外，還可進(jìn)行EDX分析（選配）
5.主機(jī)采用330 mm寬度的小型設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)節(jié)省空間和高便利性
6.無需等待抽真空時(shí)間，快速實(shí)現(xiàn)從搭載樣品到觀察圖像的全過程

概要

大氣壓觀察（圖1）

  • 樣品設(shè)置在標(biāo)準(zhǔn)大氣壓環(huán)境下（105 Pa）
  • 配置樣品的大氣壓倉室與SEM內(nèi)部由隔膜分離，在保持SEM內(nèi)部真空的同時(shí)，可對樣品進(jìn)行電子束照射觀察
  • 而且，可通過附帶的真空泵在負(fù)壓下（約103～105 Pa）進(jìn)行觀察

低真空觀察（圖2）

  • 隔膜可拆卸，還可進(jìn)行低真空SEM觀察和EDX分析
  • 搭載了日立臺(tái)式顯微鏡TM系列中廣為采用的高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器
項(xiàng)目 內(nèi)容
電子槍 預(yù)對中燈絲
檢測系統(tǒng) 高靈敏度4分割半導(dǎo)體背散射電子檢測器
加速電壓 5 kV/15 kV
倍率 ×15～×60,000（使用數(shù)碼變焦時(shí)：×240,000）
觀察壓力 大氣壓模式（105 Pa）（裝有隔膜時(shí)）
負(fù)壓模式（約103 Pa～105 Pa）（裝有隔膜時(shí)）
低真空模式（數(shù) Pa～數(shù)10 Pa）（拆下隔膜時(shí)）
max樣品尺寸 直徑55 mm
大小和重量 主機(jī)：330（W）×687（D）×565（H）mm, 67.0 kg（手動(dòng)操作臺(tái)）
控制裝置：220（W）×368（D）×235（H）mm, 11.8 kg
隔膜泵：145（W）×256（D）×217（H）mm, 4.5 kg ×2臺(tái)

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