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日立AeroSurf 1500臺(tái)式大氣壓掃描電子顯微鏡

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1.含水樣品也無需前處理即可在大氣壓下進(jìn)行SEM觀察
2.從低真空到大氣壓(數(shù) Pa~105 Pa),可在大范圍壓力下進(jìn)行SEM觀察
3.標(biāo)準(zhǔn)搭載ES-Corrector(電子束散射校正)圖像改善功能
4.在真空模式下,除了通常的SEM觀察之外,還可進(jìn)行EDX分析(選配)
5.主機(jī)采用330 mm寬度的小型設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)節(jié)省空間和高便利性
6.無需等待抽真空時(shí)間,快速實(shí)現(xiàn)從搭載樣品到觀察圖像的全過程

概要

大氣壓觀察(圖1)

  • 樣品設(shè)置在標(biāo)準(zhǔn)大氣壓環(huán)境下(105 Pa)
  • 配置樣品的大氣壓倉室與SEM內(nèi)部由隔膜分離,在保持SEM內(nèi)部真空的同時(shí),可對樣品進(jìn)行電子束照射觀察
  • 而且,可通過附帶的真空泵在負(fù)壓下(約103~105 Pa)進(jìn)行觀察

低真空觀察(圖2)

  • 隔膜可拆卸,還可進(jìn)行低真空SEM觀察和EDX分析
  • 搭載了日立臺(tái)式顯微鏡TM系列中廣為采用的高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器
項(xiàng)目 內(nèi)容
電子槍 預(yù)對中燈絲
檢測系統(tǒng) 高靈敏度4分割半導(dǎo)體背散射電子檢測器
加速電壓 5 kV/15 kV
倍率 ×15~×60,000(使用數(shù)碼變焦時(shí):×240,000)
觀察壓力 大氣壓模式(105 Pa)(裝有隔膜時(shí))
負(fù)壓模式(約103 Pa~105 Pa)(裝有隔膜時(shí))
低真空模式(數(shù) Pa~數(shù)10 Pa)(拆下隔膜時(shí))
max樣品尺寸 直徑55 mm
大小和重量 主機(jī):330(W)×687(D)×565(H)mm, 67.0 kg(手動(dòng)操作臺(tái))
控制裝置:220(W)×368(D)×235(H)mm, 11.8 kg
隔膜泵:145(W)×256(D)×217(H)mm, 4.5 kg ×2臺(tái)

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